Von der Silizium-Scheibe zum Chip

Termin: Am 18.03.2010, 09:45-17:30 Uhr
Ort: Kaiserslautern (Saarland)

Beschreibung:

Vermittelt werden die Prinzipien der Herstellung und Charakterisierung von Silizium- Baumelementen für elektronische und mikromechanische Anwendungen. Die Themen werden veranschaulicht und vertieft durch praktisches Arbeiten der Teilnehmer(innen) im Reinraum:
- Grundlagen der Photolithographie
- Trockenätzverfahren
- Strukturanalyse

Ort: Nano + Bio Center TU Kaiserslautern
Gebäude 13, Raum 141
67663 Kaiserslautern

Veranstalter: fobinet - Bundesweites Netzwerk der DPG für Physikfortbildungen

Anmeldung und Information: Unterstützt von fobinet - dem bundesweiten Netzwerk für Physikfortbildungen und in Kooperation mit NanoBioNet und cc-Nano- Chem.
Anmeldungen über die Homepage des LPM